Področja uporabe tantalovih ciljnih materialov

V glavnem se uporablja pri fizičnem naparjevanju in drugih postopkih, med postopkom naprševanja se atomi na površini tantalove tarče bombardirajo in odložijo v obliki tankega filma na podlago, da dobimo želeni tankoslojni material.
Tališče tantala je kar 2996 stopinj, kar tantalovim tarčam omogoča, da ohranijo dobro strukturno stabilnost v visoko-temperaturnih okoljih razprševanja in se ne zlahka deformirajo ali izhlapijo. Gostota je običajno nad 16,6 g/cm³, kar lahko zmanjša težave s pokanjem ali deformacijo med brizganjem, hkrati pa zmanjša brizganje delcev in izboljša kakovost filma. Pri temperaturi razprševanja ni zlahka hlapljiv, kar zagotavlja minimalno izgubo ciljnega materiala med postopkom razprševanja in zagotavlja stabilne atome tantala za nanašanje tankega filma.
Kemične lastnosti tantala so zelo stabilne in skoraj ne reagira z drugimi kislinami, razen s fluorovodikovo kislino in vročo koncentrirano žveplovo kislino. Lahko se uporablja tudi dolgo časa v težkih kemičnih okoljih, tantalov film, izdelan iz njega, pa ima tudi dobro odpornost proti koroziji. Tantalova površina je nagnjena k tvorbi gostega in stabilnega pasivacijskega filma tantalovega oksida, ki lahko učinkovito prepreči nadaljnjo oksidacijsko korozijo in izboljša življenjsko dobo materiala.
Polje uporabe
Pri izdelavi integriranih vezij se tantalovi tarčni materiali uporabljajo za pripravo difuzijskih pregradnih slojev, preprečujejo difuzijo bakrenih medsebojnih povezav v silicijeve substrate, izboljšajo zanesljivost in delovanje naprav, uporabljajo pa se lahko tudi kot materiali za vrata ali del kovinskih vrat za MOSFET-je, pa tudi kot elektrode kondenzatorjev v pomnilniških napravah z visoko-gostoto, kot je DRAM.
Pri proizvodnji zaslonov s tekočimi kristali (LCD) in organskih svetlečih{0}}diod (OLED) se tantalove tarče uporabljajo za pripravo elektrod in plasti ožičenja tankoslojnih tranzistorjev (TFT). Njihova stabilnost in prevodnost pomagata izboljšati kakovost prikaza. Poleg tega jih je mogoče uporabiti tudi kot plasti za inkapsulacijo tankega filma v OLED za podaljšanje življenjske dobe naprave.
Tantalovi filmi visoke-čistosti, ki se uporabljajo za pripravo optičnih filmov, kot so antirefleksni premazi ali filtri, imajo enoten lomni količnik in dobro obstojnost, primerni za natančne optične instrumente, kot so leče fotoaparatov in laserske naprave. V kemičnem, naftnem, pomorskem in drugih okoljih lahko proti-korozijski premazi, pripravljeni iz tantalovih ciljnih materialov, učinkovito zaščitijo opremo, cevovode in posode pred korozijo.