Kot vsi vemo, je eden ključnih kazalnikov uspešnosti cilja čistost. Zahteve glede čistosti tarče se razlikujejo glede na praktično uporabo. Uporaba titanovega tarčnega materiala visoke čistosti je dražja in ima manjše okno uporabe kot tipičen industrijski čisti titan. Uporablja se predvsem za potrebe nekaj specializiranih sektorjev. Kaj so potem primarna uporaba tarč iz titana visoke čistosti?
Tarče iz titana visoke čistosti se večinoma uporabljajo za:
1. Biološke komponente
Ker titan ni magneten, ga močno magnetno polje ne bo namagnetilo. Dobro deluje s človeškim telesom in nima negativnih stranskih učinkov. Lahko se uporablja za ustvarjanje vsadkov za človeška telesa. Glede na raztapljanje nečistoč v titanu pa mora biti čistost titana za vsadke tako visoka, kot je praktično. Na splošno medicinski titanovi materiali ne dosegajo ravni titana visoke čistosti. Biološki trakovi so lahko izdelani iz titanove žice visoke čistosti. Injekcijska igla iz titana, vgrajena v kateter, je prav tako dosegla raven titana visoke čistosti.
2. Materiali za dekoracijo
Titan visoke čistosti ohranja svoj prvotni naravni odtenek tudi po daljši izpostavljenosti atmosferi zaradi visoke odpornosti na atmosfersko korozijo. Posledično je mogoče iz titana visoke čistosti izdelati tudi materiale za arhitekturne okraske. Poleg tega je v zadnjih letih titan je bil uporabljen za izdelavo več vrhunskih dodatkov in oblačil, vključno z zapestnicami, urami in okvirji za očala. Titan se uporablja, ker je odporen proti koroziji, ne spremeni barve, lahko zelo dolgo obdrži dober sijaj in ne draži človeške kože, ko pride v stik z njim. Stopnja čistosti 5N za titan, ki se uporablja v nekaj olepšav je bilo doseženih.
3. Nabiralec materiala
Titan je posebno reaktivna kovina s kemičnimi značilnostmi, ki mu omogočajo interakcijo s številnimi snovmi pri visokih temperaturah. Močna aktivna adsorpcija plinov se pojavi na površini titana visoke čistosti, vključno z O2, N2, CO, CO2 in vodno paro več kot 650 stopinj. Na steni črpalke lahko Ti film, ki je izhlapel, ustvari površino z visoko adsorpcijsko zmogljivostjo. Zaradi te lastnosti se Ti pogosto uporablja kot getter v sistemih za črpanje izjemno visokih vakuumov. Končni delovni tlak ionske črpalke za razprševanje je lahko tako nizek kot 10-9Pa, če se uporablja v sublimacijskih črpalkah, ionskih črpalkah za razprševanje, itd.
4. Informativni medij v elektronski obliki
Uporaba titana visoke čistosti v tarčah za razprševanje, integriranih vezjih, DRAM-ih in zaslonih z ravnim zaslonom se je pred kratkim razširila zaradi hitrega širjenja visokotehnoloških industrij na področjih, kot sta polprevodniška tehnologija in informacijska tehnologija. Naprej. Kot difuzijske ovire in materiali za ožičenje krmilnih elektrod v industriji polprevodnikov VLSI so titanove silicijeve spojine, titanove dušikove spojine, volframove titanove spojine itd. stopnjo čistosti, zlasti za radioaktivne in alkalijske kovinske elemente.
Nedavno se je začel uporabljati tudi titan visoke čistosti, ki se ujema s čistostjo titanove tarče, uporabljene v postopku naprševanja. Čistost titana mora biti trenutno vsaj 4N5 (99,995 %) ali 5N (99,999 %) za 4 Mbit VLSI, medtem ko mora biti vsaj 6N (99,9999%) za 16 Mbit VLSI tretje generacije.
