Opredelitev izdelka
Tarča za brizganje je eden glavnih materialov za pripravo tankih filmov z brizganjem. Postopek razprševanja je ena glavnih tehnologij za pripravo elektronskih tankih filmov. Uporablja ione, ki jih ustvari vir ionov, da po pospešenem združevanju v visokem vakuumu tvori -hitri ionski žarek, ki obstreljuje trdno površino. Ioni in atomi na trdni površini izmenjujejo kinetično energijo, kar povzroči, da atomi na trdni površini zapustijo trdno snov in se odložijo na površini substrata. Bombardirana trdna snov je surovina za nanašanje tankih filmov z brizganjem, ki se imenuje tarča za brizganje.
Strukturno je tarča v glavnem sestavljena iz "prazne tarče" in "zadnje plošče". Med njimi je slepa tarča material tarče, ki ga bombardira-hitrostni ionski žarek, ki spada v osrednji del tarče za razprševanje, ki vključuje visoko{2}}čisto kovino in regulacijo orientacije zrn. Zadnja plošča ima glavno vlogo pri fiksiranju tarče za brizganje, ki vključuje postopek varjenja. Zaradi nizke trdnosti kovine visoke-čistosti mora tarča za brizganje dokončati postopek brizganja v namenskem stroju. Notranjost stroja je pod visoko-napetostjo in visokim-vakuumom, zato mora imeti zadnja plošča tudi dobro električno in toplotno prevodnost.
Razvrstitev izdelkov
Oblika: Lahko se razdeli na dolge tarče, kvadratne tarče, okrogle tarče in cevaste tarče. Med njimi so najpogostejše kvadratne tarče in okrogle tarče, ki so polne tarče. Trenutno se doma in v tujini promovirajo votle cilindrične tarče za naprševanje, ki se lahko vrtijo okoli fiksnih paličastih magnetnih komponent, da bi izboljšali stopnjo izkoriščenosti ciljnih materialov. Ker je ciljno površino te vrste tarče mogoče enakomerno jedkati pri 360 stopinjah, se lahko stopnja izkoriščenosti poveča z običajnih 20 % na 30 % na 75 % do 80 %.
Materiali: tarče so razvrščene v kovinske tarče (čisti tantal, niobij, vanadij, hafnij, titan, volfram, molibden itd.), tarče iz zlitin (tantal-niobijeva zlitina, niobij-volframova zlitina, niobij-cirkonijeva zlitina, C-103 niobijeva zlitina, niobijeva zlitina 521, niobijeva-titanova zlitina, nikelj-titanova zlitina, nikelj-kobaltova zlitina itd.) in tarče iz keramičnih spojin (oksidi, silicidi, karbidi, sulfidi itd.).
Razvrstitev industrije
1) Prikazna plošča je ciljna industrija
Odvisno od različnih procesov lahko cilje industrije FPD v grobem razdelimo tudi na cilje za razprševanje in cilje za izparevanje. Med njimi so tarče za razprševanje predvsem Cu, Al, Mo in IGZO. Ciljni materiali, ki se uporabljajo za izparevanje, so na splošno sestavljeni iz dveh kovin: Ag in Mg.
Klasifikacija aplikacij: glavne zaslonske plošče so razdeljene na LCD in OLED. Zasloni s tekočimi kristali s tankoslojnim-tranzistorjem (TFT-LCD) ponujajo prednosti, kot so tankost, nizka poraba energije in nizki stroški. Trenutno TFT-LCD predstavljajo več kot 80 % tržnega deleža zaslonskih plošč. Te zaslonske plošče so sestavljene iz velikega niza zaslonskih celic s tekočimi kristali (zaslon z ločljivostjo 4K na primer vsebuje več kot 8 milijonov celic), od katerih vsako nadzoruje in poganja ločen tank{9}}tranzistor (TFT).
Hitro razvijajoča se industrija plošč OLED je prav tako občutno povečala povpraševanje po ciljnih materialih. Tipična struktura OLED vključuje nanos plasti materiala, ki oddaja svetlobo, debeline več deset nanometrov, na steklo iz indij-kositrovega oksida (ITO). Prozorna elektroda ITO služi kot anoda naprave, medtem ko molibden ali zlitina služi kot katoda.
2) Fotovoltaična ciljna industrija
Ciljni materiali se uporabljajo predvsem v heterospojnih in kadmijevih teluridnih baterijah. Tarče ITO so osnovni materiali za odlaganje prozorne prevodne plasti pri proizvodnji sončnih celic s heterospoji. Kadmijev telurid, kadmijev cink telurid in kadmijev selenid so ključni potrošni materiali pri proizvodnji tank{2}}slojnih sončnih celic.
Uporaba: Tarče, ki se uporabljajo v fotovoltaičnih celicah, tvorijo zadnjo elektrodo. Zadnja elektroda tank{1}}slojnih sončnih celic, ki jo tvorijo razpršene tarče, ima tri glavne namene: prvič, služi kot negativna elektroda za vsako posamezno celico; drugič, zagotavlja prevodno pot, ki zaporedno povezuje celice; in tretjič, poveča odboj svetlobe sončne celice. Trenutno so tarče za razprševanje za tanko{3}}slojne sončne celice predvsem kvadratne plošče, pri čemer zahteve glede čistosti na splošno presegajo 99,99 % (4N). Pogosto uporabljene tarče za razprševanje za celice s tanko-plastjo vključujejo aluminij, baker, molibden in krom ter ITO in AZO (aluminijev cinkov oksid). HIT celice uporabljajo predvsem ITO tarče za svoje prozorne prevodne filme. Aluminijeve in bakrene tarče se uporabljajo predvsem za prevodno plast, molibdenove in kromove tarče za pregradno plast ter ITO in AZO tarče za prozorno prevodno plast.
3) Ciljna industrija polprevodnikov
Industrija polprevodniških čipov je eno od glavnih področij uporabe kovinskih tarč za razprševanje. To je tudi področje z najvišjimi zahtevami glede sestave, strukture in delovanja ciljnih materialov. Zahtevana ciljna čistost je običajno 99,9995 % (5N5) ali celo 99,9999 % (6N). Vloga kovinskih razpršilnih tarč za polprevodniške čipe je izdelava kovinskih žic na čipu za prenos informacij.
Verjamem, da vam bo stik z nami prinesel nepričakovana presenečenja
E-pošta
kd@tantalumysjs.com
+86 13379388917
Dodaj
Industrijska cona vasi Wenquan, razvojna cona Gaoxin, mesto Baoji, provinca Shaanxi, Kitajska
