Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. je specializirano za raziskave in proizvodnjotantalove razpršilne tarčein materiali za vakuumske premaze. Ker ima tantal sposobnost tvorjenja oksidnih filmov in ima zaščitni učinek, se tantalove tarče pogosto uporabljajo kot substrati za izdelavo elektrolitskih kondenzatorjev. Tokrat je bila predstavljena uporaba tantalovih razpršilnih tarč na področju mikroelektronike.
Tarče iz tantala za termične brizgalne tiskalne glave
Termične brizgalne tiskalne glave se lahko uporabljajo pri izdelavi tankoslojnih integriranih vezij, kar olajša uporabo tantalovih tarč. V procesu izdelave integriranih vezij se tankoslojni upori uporabljajo za hitro segrevanje filmske plasti črnila z energijsko gostoto blizu 1,28E9 vatov/m2, tako da nekatera izjemno majhna črnila izhlapijo in tvorijo razširjene mehurčke, ki so pravzaprav majhni kapljice črnila. . Ker lahko visokotemperaturna črnila povzročijo kavitacijo v nekaterih napravah za brizgalno tiskanje, lahko uporaba tantalovih filmov proti kavitaciji zaščiti namestitve črnila.
Tarče iz tantala za bakrenje
Tantalove tanke plasti imajo očitne prednosti v procesu izdelave integriranih vezij. Eden večjih napredkov pri uporabi tarč za razprševanje iz tantala je uporaba bakrenja. Fotorezistnih mask in tehnik plazemskega jedkanja ni mogoče uporabiti za oblikovanje bakra, ker je baker pod pogoji nizkotemperaturnega plazemskega jedkanja. Želene hlapne sestavine se ne tvorijo. Na splošno je zaradi visoke prevodnosti bakrenih materialov potrebno, da pregradna folija popolnoma izolira baker. Če pa je pregradna folija predebela, se izgubijo prednosti visoke prevodnosti bakrenih povezav. Zato je pomembno, da ima nanos pregradnega filma v shemi bakrenja dobro pokritost stopenj in zmanjšane štrline na odprtinah/prerezih v jarku. Pri zamenjavi bakrenih IC-jev 0.10um PVD pregradni filmi iz tantala in dušikovega oksida kažejo nekatere edinstvene prednosti, kot sta dobra difuzija bakra in dober oprijem na elektrolite in baker.
The99,98 odstotkov tantalovih tarčproizvaja Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd., se pogosto uporabljajo kot grelni deli, toplotnoizolacijski deli in polnilne posode za vakuumske plavže. Tarče iz tantala, ki jih proizvaja naše podjetje, se ne morejo uporabljati kot substrati v kemični industriji. , vesoljska industrija, medicinska oprema in druga področja.
