Katere vrste ciljnih materialov obstajajo? (1)
Kateri so ciljni materiali?
Tarča je pravzaprav širok pojem. Obstajajo trije načini za razvrščanje ciljnih materialov:
1. Glede na zunanje dimenzije ga lahko razdelimo na cilindrične, pravokotne, kvadratne ploščate tarče in cevne tarče. Glede na material lahko ciljne materiale razdelimo na kovinske tarče, polimerne keramične nekovinske tarče in tarče iz zlitin itd.;
2. Glede na material lahko ciljne materiale razdelimo na običajne kovinske tarče, tarče iz plemenitih kovin, tarče iz redkih zemeljskih kovin, nekovinske tarče, tarče za brizganje zlitin, tarče za brizganje iz keramike itd.;
3. Glede na področje uporabe ga lahko razdelimo na tarče za polprevodnike, tarče za zaslonske plošče, tarče za sončne celice, tarče za magnetno snemanje itd.
Razvrstitev po obliki tarče
Pogoste tarče so večinoma kvadratne in okrogle tarče, ki so trdne tarče. Pri postopku premazovanja je magnetno polje, ki ga ustvari krožni trajni magnet na površini tarče, obročasto, pride do neenakomerne erozije, enakomernost debeline napršenega filma ni dobra, učinkovitost izkoriščanja tarče pa je le približno 20 % do 30 %. Tarča iz votle cevi, ki se trenutno promovira, se lahko določen čas vrti okoli sklopa fiksnega paličastega magneta, 360-stopinjska ciljna površina pa je lahko enakomerno vgravirana, kar ima očitne prednosti in poveča stopnjo izkoriščenosti na 80 %.
Razvrstitev po ciljnem materialu
Konvencionalne kovinske tarče:
|
Aluminijasta tarča Al |
Bakrena tarča Cu |
Chromium target Cr |
Barijeva tarča Ba |
|
Bizmutova tarča Bi |
Kadmijeva tarča Cd |
Tarča iz cirkonija Zr |
Cinkova tarča Zn |
|
Nikljeva tarča Ni |
Kobaltna tarča C |
Tarča kalcija Ca |
Niobijeva tarča Nb |
|
Indijeva tarča In |
Volframova tarča W |
Molibdenova tarča Mo |
Vanadijeva tarča V |
|
Železna tarča Fe |
Tarča iz titana Ti |
Hafnijeva tarča Hf |
Itrijeva tarča Y |
|
Tantalova tarča Ta |
Litijeva tarča Li |
Cilj magnezija Mg |
Pločevinasta tarča Sn |
|
Manganova tarča Mn |
Svinčena tarča Pb |
Silicijeva tarča Si |
Aluminijasta tarča Al |
|
Berilijeva tarča Be |
Bakrena tarča Cu |
Skandijeva tarča Sc |
|
Targa iz plemenitih kovin
ets:
|
Srebrna tarča Ag |
Zlata tarča Au |
Platinasta tarča Pt |
Paladijeva tarča Pd |
|
Rodijeva tarča Rh |
Iridijeva tarča Ir |
Renijeva tarča Re |
Rutenijeva tarča R |
Tarče iz redkih zemeljskih kovin:
|
Lantanova tarča La |
Cerijeva tarča Ce |
Prazeodimska tarča Pr |
|
Samarijska tarča Sm |
Europium target Eu |
Gadolinijeva tarča Gd |
|
Cilj disprozija Dy |
Holmijeva tarča Ho |
Erbijeva tarča Er |
|
Iterbijeva tarča Yb |
Lutetijeva tarča Lu |
Ttarča iz tulija Tm |
|
Terbijeva tarča Tb |
Neodimova tarča Nd |
|
Nekovinske tarče:
|
Grafitna tarča C |
Borova tarča B |
Germanijeva tarča G |
|
Selenska tarča Se |
Antimonova tarča Sb |
Telurova tarča Te |
Vroča iskanja: ciljni materiali, ciljni material za razprševanje, tantalov ciljni material, niobijev ciljni material, vanadijev ciljni material, uporaba ciljnega materiala, velikost ciljnega materiala.





