Obstaja veliko vrst tarč za razprševanje, visoke zahteve glede čistosti in širok spekter aplikacijskih industrij. Danes bomo govorili o štirih vrstah tarč za razprševanje, ki se običajno uporabljajo na štirih področjih, tarčah iz aluminija visoke čistosti, tarčah iz titana, tarčah iz tantala in volframovih tarčah. Tarča iz titana. Področja, ki jih pokrivajo, vključujejo ploščate zaslone, polprevodnike, shranjevanje in sončne celice.
Aluminijasta tarča (čistost zaloge 99,99 odstotka - 99.999 odstotka)
Aluminij visoke čistosti in njegove zlitine so eden najpogosteje uporabljenih prevodnih tankoslojnih materialov. Na svojem področju uporabe izdelava čipov VLSI zahteva razpršene ciljne kovine zelo visoke čistosti, običajno do 99,9995 odstotka, medtem ko imajo ploščati zasloni in sončne celice nekoliko nižjo čistost kovin.
Tarča iz titana (čistost zalog 99,99 odstotkov - 99.999 odstotkov)
Titan je eden od pogosto uporabljenih materialov pregradnega filma v čipih VLSI (ustrezni material prevodne plasti je aluminij). Tarča iz titana bo uporabljena s titanovim obročem med izdelavo pred čipom. Glavna funkcija je pomoč pri procesu razprševanja titanovih tarč, ki se večinoma uporablja na področju izdelave čipov integriranih vezij v velikem obsegu.
Tarča iz titanovega volframa (čistost zaloge 99,95 odstotka)
Volfram-titanove zlitine imajo nizko mobilnost elektronov, stabilne termomehanske lastnosti, dobro odpornost proti koroziji in dobro kemično stabilnost. V zadnjih letih so bile tarče za naprševanje iz volfram-titanove zlitine uporabljene kot materiali kontaktne plasti za vratna vezja polprevodniških čipov. Poleg tega se volframove in titanove tarče lahko uporabljajo tudi kot pregradne plasti pri kovinski povezavi polprevodniških naprav. Za visokotemperaturna okolja, predvsem za vlsI in sončne celice.
Tantalova tarča (čistost surovine 99 odstotkov, 99,5 odstotkov, 99,9 odstotkov, 99,995 odstotkov, 99,99 odstotkov, 99,995 odstotkov, 99,999 odstotkov)
Z eksplozivno rastjo povpraševanja po potrošniških elektronskih izdelkih, kot so pametni telefoni in tablični računalniki, se je povpraševanje po vrhunskih čipih znatno povečalo, tantal pa je postal priljubljen mineralni vir. Vendar pa so zaradi pomanjkanja virov tantala dragi tantalovi cilji visoke čistosti, ki se večinoma uporabljajo v velikih integriranih vezjih in na drugih področjih.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. je visokotehnološko podjetje, specializirano za proizvodnjo in prodajorazpršene tantalove tarčein ognjevarni materiali iz neželeznih kovin. Izdelki se pogosto uporabljajo v naftni, kemični, elektronski, obrtniški, strojni proizvodnji, medicinski opremi in na drugih področjih. Izdelke izvažamo v države doma in v tujini.
