Tarča za brizganje nikelj-vanadija

Postopek priprave nikelj vanadijeve tarče za razprševanje
Metalografski pregled, vakuumsko indukcijsko taljenje, kemična analiza, kovanje, valjanje, žarjenje, strojna obdelava, dimenzijski pregled, čiščenje, končni pregled in pakiranje so nekateri od korakov pri pripravi materiala.

Čisto zlato se običajno uporablja kot povezovalna kovina pri izdelavi integriranih vezij in se nanese na silicijeve rezine. Vendar bo zlato difundiralo v silicijeve rezine in tvorilo visokoodporno spojino, imenovano AuSi, kar bo znatno zmanjšalo gostoto toka v ožičenju in povzročilo odpoved celotnega ožičnega sistema.
Zato je predlagano, da se med silikonske rezine in zlato tanko pločevino doda lepilna plast. Potreben je pregradni sloj, ki preprečuje difuzijo med zlato prevodno plastjo in nikljevo lepilno plastjo, saj je lepilna plast običajno sestavljena iz čistega niklja, vendar doživlja tudi difuzijo med nikljevo in zlato prevodno plastjo.,

Vanadij je izbran za nanašanje pregradnih plasti zaradi visokega tališča in visoke gostote toka, zato se v proizvodnji integriranih vezij uporabljajo tarče za naprševanje iz niklja, vanadija in zlata.
Prednosti niklja in vanadija so združene v Nickel Vanadium Sputtering Target s 7 odstotki vanadija, kar omogoča hkratno tvorbo lepilne in pregradne plasti. Zaradi nemagnetne narave kovine NiV je idealna za magnetronsko razprševanje. V elektronski informacijski industriji vedno bolj nadomešča tarče za razprševanje s čistim nikljem.

Najpomembnejši prednosti tarče za brizganje z nikelj-vanadijem visoke čistosti, ki smo jo ustvarili, sta izjemna električna prevodnost vaših filmov in zmanjšana tvorba delcev med postopkom PVD.

Poleg tega lahko izdelamo tarče iz različnih nikljevih zlitin, vključno z NiAl, NiCo, NiCu, NiCr, NiW, NiCrSi in NiCrAl, v skladu z vašimi posebnimi potrebami po sestavi, dimenzijah in velikosti delcev.
 

Priljubljena oznake: nikelj vanadijeva tarča za razprševanje, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba, kakovost, naprodaj, na zalogi