Tarče iz niobijevega oksida

Trenutno priprava tarč niobijevega oksida v glavnem sprejema postopek sintranja z vročim stiskanjem, vendar so na splošno pripravljene pomanjkljivosti slabe kompaktnosti in prevodnosti, kar je težko izpolniti zahteve DC magnetronskega razprševanja za ciljne materiale. Poleg tega ima postopek sintranja z vročim stiskanjem dolg čas sintranja, visoko porabo energije in visoke stroške. Na podlagi tega je treba zagotoviti tarčo niniobijevega oksida z nizko porabo energije, nizko ceno, dobro kompaktnostjo in prevodnostjo ter način njene priprave.

Vključeni so naslednji koraki:

Niobijev pentoksid v prahu in niobijev prah sta bila enakomerno pomešana in kalcinirana pri 600~800 stopinjah 0,5~3 ure pod atmosfero kisika ali zračno atmosfero, da dobimo predhodno obdelan prah;

Prašek sintramo v grafitnem kalupu pri 900~1200 stopinjah v atmosferi zaščitnega plina 0,5~1 uro, da dobimo tarčo niobijevega oksida.

Metoda priprave zgornjih tarč niobijevega oksida, potem ko sta prašek niobijevega pentoksida in niobijev prah enakomerno pomešana, se izvede obdelava z oksidacijsko kalcinacijo in površina niobijevega prahu se oksidira, da se tvori pregrada iz aktiviranega oksidnega filma, tako kot za razpršitev prahu niobijevega pentoksida se izognemo pojavu aglomeracije, ki ga povzroča lokalno sintranje prahu niobijevega pentoksida, in dobljeni predhodno obdelan prah ni aglomeriran, ni vezan, ima dobro fluidnost in koncentrirano porazdelitev velikosti delcev. Med njimi ima prašek niobijevega pentoksida visoko specifično površino in visoko aktivnost, njegova velikost delcev pa je majhna, kar posledično zmanjša temperaturo sintranja pri vročem stiskanju in skrajša čas sintranja pri vročem stiskanju, s čimer se zmanjša poraba energije in stroški sintranja v vročem stiskanju, skrajšanje proizvodnega cikla in učinkovito izboljšanje stopnje zgoščevanja tarče niobijevega oksida, pridobljene s sintranjem v vročem stiskanju.

Kemijska formula tarče niobijevega oksida, pripravljene z zgornjo metodo priprave, je Nb2Ox, 4.0 Manjše ali enako x Manjše ali enako 4,9, tarča ima visoko kompaktnost, nizko poroznost in ravno površino brez jamic, njegova gostota pa je kar 4,57g/cm3. Njegova prevodnost je visoka, upornost pa 2×10-3~8×10-3Ω·cm. Med njimi se relativna gostota nanaša na razmerje med gostoto, izmerjeno z detektorjem trdne gostote Arhimedove drenažne metode, in teoretično gostoto, velikost relativne gostote pa kaže stopnjo zgostitve materiala in večja kot je relativna gostota, večja je stopnja zgoščevanja materiala.

Priljubljena oznake: tarče niobijevega oksida, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba, kakovost, naprodaj, na zalogi