Tarča za razprševanje volframa

Kovina volframa visoke čistosti, ki se uporablja za izdelavo tarč za razprševanje volframa, je običajno krhka in z njo je težko delati. Volfram lahko ohrani svojo trdoto (ki je večja od trdote mnogih jekel) in ima dovolj duktilnosti, da ga je enostavno obdelati, če ga oblikujemo v zelo čist material. Gre skozi postopke kovanja, raztezanja ali iztiskanja. Običajno se sintranje uporablja tudi za izdelavo predmetov iz volframa.

Volfram ima najmočnejšo natezno trdnost, najnižji parni tlak (pri temperaturah nad 1650 stopinj, 3000 stopinj F) in najvišje tališče vseh kovin v čisti obliki (3422 stopinj, 6192 stopinj F). Od vseh čistih kovin ima volfram najmanjši koeficient toplotnega raztezanja. Močne kovalentne povezave, ki jih ustvarijo 5d elektroni med atomi volframa, dajejo volframu majhno toplotno raztezanje, visoko tališče in veliko natezno trdnost. Jeklo postane bistveno bolj trpežno, če je volfram legiran z njim v skromnih količinah.

Proizvodnja volframovih tarč za razprševanje v različnih oblikah in čistosti je posebnost podjetja Yusheng Metal, ki se večinoma uporablja v polprevodni in mikroelektroniki. Zaradi najvišjega tališča med vsemi kovinami so plasti volframa, ki so del tankoslojnih tranzistorjev, ki se uporabljajo v zaslonih TFT-LCD, neverjetno stabilne v okoljih z visoko temperaturo. Naše tarče imajo višjo gostoto, nižjo povprečno velikost delcev in višjo čistost zaradi naših edinstvenih tehnik oblikovanja, kar vam omogoča, da izkoristite hitrejši postopek zaradi višjih hitrosti brizganja in ustvarite zelo homogene plasti volframa.

Naša prilagodljiva proizvodna tehnika nam omogoča spreminjanje mikrostrukture za doseganje zahtevanega rezultata. Uporabnik lahko izkoristi konstantne stopnje erozije in homogene plasti, če so zrna tarče za naprševanje enakomerno poravnana. 100 m je tipična velikost zrn.

Kovinska tarča za razprševanje mora imeti odlično kemično čistost, ker bo to povzročilo filme z večjo električno prevodnostjo in zmanjšano tvorbo delcev med postopkom PVD. Spodaj je navedeno tipično potrdilo o analizi za volframovo tarčo 3N5.

Analitične tehnike:

1. Za pregledovanje kovinskih elementov sta bila uporabljena GDMS in ICP-OES.
2. LECO je pregledal sestavine plina.

Priprava materiala, sintranje in kemična analiza so koraki v pripravi tarče za razprševanje iz volframa. Valjanje, analiziranje, metalografski pregled, proizvodnja, tridimenzionalni pregled, čiščenje, končni pregled, pakiranje in pošiljanje

Tarča za razprševanje iz volframa in tehnika njene priprave
Čistost nad 99,95 odstotka, 2,2–2,6 mm, hladno izostatično stiskanje 5–10 minut, 2300–2400 stopinj, 8–12 ur indukcijskega sintranja vmesne frekvence in mešanica volframovega prahu 1450–1500 stopinj. Vroče valjan je do debeline 5–15 mm s številnimi prehodi, s skupno deformacijo več kot 60 odstotkov, po žarjenju pri 1550 stopinjah 90–180 minut. Po obdobju žarjenja od 90 do 150 minut pri 1300 do 1400 stopinjah se izvede mehanska obdelava. Končni material volframove tarče ni le dober v zmogljivosti, ampak tudi razmeroma enostaven za obdelavo in ne zahteva drage opreme. Količina mehanske obdelave na površini je približno 1,5 mm.

Na voljo so tudi druge ciljne zlitine volframa.
Tarče iz volfram titana, volfram titanove zlitine, volfram bakra, volfram mangana, volfram niklja itd.

Priljubljena oznake: volframova razpršilna tarča, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba, kakovost, naprodaj, na zalogi