Vanadij je srebrno siva kovina z gostoto 6,11 g/cm3in tališče 1919±2 stopinj. Je redka kovina z visokim tališčem. Pri proizvodnji integriranih vezij se kot površinsko prevodna plast običajno uporablja čisto zlato, vendar so rezine zlata in silicija nagnjene k ustvarjanju spojin AuSi z nizkim tališčem, kar ima za posledico šibko vez med vmesnikoma zlata in silicija.
Zato je na površino zlatih in silicijevih rezin dodan vezni sloj. Čisti nikelj se pogosto uporablja kot vezni sloj, vendar se med plastjo niklja in zlato prevodno plastjo pojavi tudi difuzija. Zato je potrebna pregradna plast, ki preprečuje difuzijo med prevodno plastjo zlata in vezno plastjo niklja.
Pregradna plast mora uporabiti kovino z visokim tališčem in mora prenesti veliko gostoto toka. To zahtevo lahko izpolni vanadij visoke čistosti. Vanadij visoke čistosti ima tudi dobro plastičnost in ga je mogoče zviti v plošče, folije in vlečeti v žice pri sobni temperaturi.
Postopek priprave vanadijeve tarče
1. Izrežite vanadijev ingot zahtevane čistosti glede na ciljno velikost z uporabo vodoravnega stroja za žaganje, predgrejte na 450-500 stopinj, nato kojte in nadzorujte skupno stopnjo deformacije kovanja na 70-80%;
2. Žarimo kovani vanadijev ingot pri temperaturi 400-500 stopinj in zadrževalnem času 60-120min, nato pa ga ohladimo z zračnim hlajenjem;
3. Zavaljajte žarjeni vanadijev ingot in nadzorujte količino stiskanja vsakega prehoda na 0.5-1 mm in nadzorujte skupno deformacijo na 70-80%, dokler ni vanadijeva tarča surovca doseže se zahtevani premer in debelina;
4. Zopet žarite valjani surovec vanadijeve tarče pri temperaturi 450 stopinj -550 stopinj in času zadrževanja 90-150 min. Po ponovnem žarjenju ga ohladite z vodo, da dobite zahtevano tarčo iz vanadija visoke čistosti. Tako pripravljena tarča iz vanadija nima samo enotne notranje strukture, temveč ima tudi prednosti drobnih zrn.
Poleg vanadijevih tarč lahko ponudimo tudi tarče za razprševanje, kot so nikelj-vanadijeva zlitina, kobalt-vanadijeva zlitina, titan-aluminij-vanadijeva zlitina, železo-vanadij-germanijeva zlitina, kobalt-železo-vanadij-silicijeva zlitina in vanadijev pentoksid .
