1. Izrežite vanadijev ingot zahtevane čistosti glede na ciljno velikost z uporabo vodoravnega stroja za žaganje, predgrejte na 450-500 stopinj, nato kojte in nadzorujte skupno stopnjo deformacije kovanja na 70-80%;
2. Žarimo kovani vanadijev ingot pri temperaturi 400-500 stopinj in zadrževalnem času 60-120min, nato pa ga ohladimo z zračnim hlajenjem;
3. Zavaljajte žarjeni vanadijev ingot in nadzorujte količino stiskanja pri vsakem prehodu na 0.5-1 mm in nadzorujte skupno deformacijo na 70-80%, dokler ni vanadijeva tarča surovca doseže se zahtevani premer in debelina;
4. Zopet žarite valjano tarčo iz vanadija pri temperaturi 450-550 stopinj in času zadrževanja 90-150 min. Po ponovnem žarjenju ga ohladite z vodo, da dobite zahtevano tarčo iz vanadija visoke čistosti.
Tako pripravljena vanadijeva tarča nima samo enotne notranje strukture, ampak ima tudi prednost finih zrn.
Ciljni material mora biti visoke čistosti, manj nečistoč, enakomerne kemične sestave, brez segregacije, brez por, enotne zrnate strukture in velikosti zrn od mikrometra do milimetra. Razlika v velikosti zrn v posamezni tarči za naprševanje mora biti čim manjša. Na ta način ni enostavno ustvariti pojava praznjenja pri magnetronskem razprševanju, film za magnetronsko razprševanje pa je enoten.
Uporaba vanadijeve tarče
Uporablja se na področju sončne energije, ploščatih zaslonov, elektronike in polprevodnikov, kot so integrirana vezja, metalizacija hrbtne plošče, optoelektronika in druge aplikacije.
