Izraz "tarča za razprševanje" opisuje vir za razprševanje, ki je razpršen in nanesen na podlago z magnetronskim razprševanjem, ionsko prevleko z več loki ali drugimi vrstami opreme za nanašanje premazov pod ustreznimi pogoji postopka za ustvarjanje različnih funkcionalnih tankih filmov. Tarče za razprševanje so v veliki meri uporablja se v različnih panogah, vključno s sončnimi celicami, ploskimi zasloni, polprevodniki, plosko elektroniko, orodjem, steklom in dekorativnimi aplikacijami. Na različnih področjih so potrebni različni ciljni materiali.
Postavitev goreče tarče
Glede na postopek lahko pripravo ciljnih materialov za razprševanje razdelimo v dve kategoriji: prašno metalurgijo in litje staljene litine. Okoliščine, v katerih se material segreva med postopkom toplotne obdelave, kot tudi kasnejše tehnike obdelave je treba skrbno nadzorovati poleg čistosti, gostote, velikosti zrn in kristalne orientacije materiala. nadzor.
1. Obdelava kovin s praški
Za uspešno pripravo tarč z uporabo prašne metalurgije je pomembno, da: (1) kot surovine izberete prah visoke čistosti in ultra fin prah; (2) izbrati tehnologijo oblikovanja in sintranja, ki lahko doseže hitro zgoščevanje, da se zagotovi nizka poroznost tarče in nadzoruje velikost zrn; in (3) strogo nadzorovati vnos elementov nečistoč.
2. Pristop talilnega litja
Ena od temeljnih tehnik za ustvarjanje tarč za razprševanje je postopek ulivanja s taljenjem. Taljenje in ulivanje ingota se običajno izvedeta v vakuumu ali zaščitni atmosferi, da se zagotovi čim nižja vsebnost elementov nečistoč. Vendar je v notranjosti določena količina poroznosti materialni okvir je med postopkom ulivanja neizogiben. Te pore bodo vplivale na kakovost napršenega filma, ker bodo povzročile razpršitev delcev med postopkom naprševanja. Za zmanjšanje njegove prepustnosti so potrebni dodatni postopki toplotne obdelave in toplotne obdelave.
