Ciljni material ima širok trg, različne uporabne možnosti in obetavno prihodnost. Na hitro preglejmo primarne zahteve glede učinkovitosti ciljnega materiala za vas, da boste lahko bolje razumeli učinkovitost materiala. Iskreno upam, da vam bo koristilo.
Čistost: Ker čistost tarče pomembno vpliva na učinkovitost filma, je čistost eno od primarnih meril učinkovitosti tarče. Merila čistosti ciljnega materiala pa se v praksi razlikujejo. Na primer, velikost silicija rezin se je povečala s 6′′, 8′′ na 12′′ zaradi hitrega širjenja industrije mikroelektronike, širina ožičenja pa se je povečala s 0.5um na 0.25um, 0 .18um ali celo 0.13um, prej 99. Ciljna čistost 995 % lahko zadosti zahtevam postopka 0.35umIC, medtem ko je 99 potrebno za pripravo 0.18um line.99.9999% ali celo 999%.
Vsebnost nečistoč: Glavni viri onesnaženja za naneseni film so nečistoče v trdni tarči ter kisik in vodna para v porah. Različne tarče iz različnih razlogov zahtevajo različne vsebnosti nečistoč. Na primer, sektor polprevodnikov ima posebne standarde za koncentracijo radioaktivnih elementov in alkalijskih kovin v tarčah iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin.
Gostota: ciljni material mora imeti običajno večjo gostoto, da se zmanjšajo pore v trdni snovi in poveča funkcionalnost napršenega filma. Na električne in optične lastnosti filma vpliva tudi gostota ciljnega materiala, poleg hitrosti naprševanja. Učinkovitost filma se poveča z gostoto tarče. Sposobnost tarčnega materiala, da preživi toplotni stres med postopkom naprševanja, se izboljša tudi s povečanjem njegove gostote in trdnosti. Eden od glavnih meril učinkovitosti tarče je gostota.
