Ta Sputter Target

Ta Sputter Target

1.Dimenzija: premer 50-400 mm X debelina 3-28 mm
2.Razred:R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta-10W)
3. Čistost: večja ali enaka 99,95 % (največ 99,99 %)
4. Rekristalizacija: najmanj 95%
5. Velikost zrn: najmanj 40 um
6. Površinska hrapavost: največja Ra0.4
7. Ravnost: 0.1 mm ali največ 0.10 %
8. Toleranca: premer +/-0.254 mm
Pošlji povpraševanje
Predstavitev izdelka

Yusheng kovinski tantalov napršeni proizvodni proces tarče
Tantalovi tarčni izdelki Yusheng Metal za naprševanje so obdelani iz tantalovih ingotov z uporabo EB elektronskega obstreljevanja, valjanja in postopkov žarjenja. Tarče, narejene s tem postopkom, imajo enotno kristalno strukturo, teksturo in porazdelitev energije ter dobro notranjo strukturo.

 

V zadnjih letih se je obseg industrije IC (integriranih vezij) še naprej širil, tehnologija procesov čipov pa se je prav tako razvila v smeri visoke gostote. Tantal se pogosto uporablja kot material za napršeno prevleko za plast difuzijske pregrade v postopku spajanja bakra zaradi njegove močne kemične stabilnosti. Enotna mikrostruktura tantalovih tarč za razprševanje neposredno vpliva na učinkovitost razprševanja.


Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). Pri izdelavi tankih filmov se hitrost brizganja spreminja glede na ciljno debelino, kar vpliva na stabilnost postopka brizganja.


Načelo ciljnega razprševanja

Tantal se pogosto uporablja v proizvodnji elektrolitskih kondenzatorjev zaradi njegove sposobnosti tvorbe tankih oksidov in zaščitne narave oksidne plasti. Izhlapevanje je bilo uporabljeno v zgodnjih fazah nanašanja tantala, a ko so se tehnike fizičnega naparjevanja, kot je naprševanje, pojavile v poznih šestdesetih letih prejšnjega stoletja kot boljše metode za nanašanje tankega filma, so nadomestile izparevanje.


V procesu fizičnega nanašanja s paro ionizirani atomi argona uporabljajo elektromagnetno mehaniko, da udarijo na tarčo, zrušijo atome kovinske tarče, atomi kovinske tarče pa se nanesejo na substrat, da tvorijo tanek film.

134
tantalova razpršilna tarča
567
tantalova tarča

Oprema za proizvodnjo kovin Yusheng

Yusheng Metal ima celoten nabor znanstvenih raziskav, proizvodnje, testiranja, prodaje in servisnih sistemov od taljenja, kovanja, vročega valjanja, hladnega valjanja, končne obdelave do končnih materialov. Ima 350KW elektronsko vzhodno obstreljevalno peč, 2000T hidravlično stiskalnico, 1700mm vakuumsko žarilno peč ter en 42KW in dva 15KW precizna stroja za kovanje, 14 mlinov za zaključne trakove, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 dvovrstna valjarna za cevi, 2-rol 500T valjarna, 4 hladne valjarne, 6 hladnih valjarn, stroj, 15KW dvostranski stroj za vlečenje žice, cilindrični mlin, stroj za lupljenje, površinski brusilnik in vrsta opreme.

 

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

Uporaba tantalove razpršilne tarče

Tarčni material za naprševanje tantala je izdelan iz tantalovih plošč, obdelanih pod tlakom, in ima značilnosti visoke čistosti, finih zrn, dobre rekristalizacijske strukture in dobre triosne konsistence.
Tarče za razprševanje iz tantala se pogosto uporabljajo v optoelektronski in polprevodniški industriji. Uporabljajo se predvsem za nanašanje katodnih razpršilnih prevlek, visokovakuumskih aktivnih materialov, optičnih vlaken, polprevodniških rezin, integriranih vezij itd. So pomemben del tehnologije tankih filmov.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

 

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.je globalni dobavitelj delov za obdelavo redkega zlata tantala, niobija, vanadija, cirkonija in hafnija. V glavnem proizvaja žice, palice, plošče, cevi, obroče, lončke itd. in druge nestandardne dele za posebno obdelavo. Redno bomo objavljali informacije v zvezi z izdelki in disciplinami materialov našega podjetja, ki zajemajo celotno verigo raziskav in razvoja tehnologije materialov, industrializacijo materialnih dosežkov, uporabo in promocijo materialnih izdelkov, aglomeracijo industrije materialov in ekologijo industrije materialov. Vabljeni, da nas kontaktirate kadar koli.

product-1600-1036
 
 

Kontaktirajte nas

Vodja prodaje:

Kontakt: Li Fengwu

Email: kd@tantalumysjs.com

Tel: 13379388917

Faks: 0917-3139100

Poštna številka: 721013

Splet:https://www.tantalumysjs.com/

Dodaj: industrijska cona vasi Wenquan, razvojna cona Gaoxin, mesto Baoji, provinca Shaanxi, Kitajska

 

 

 

 

Priljubljena oznake: ta sputter target, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba, kakovost, naprodaj, na zalogi

Pošlji povpraševanje

Dom

Telefon

E-pošta

Povpraševanje